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瑞士VAT 54系列氣動高真空擋板閥

產(chǎn)品簡介

瑞士VAT 54系列氣動高真空擋板閥
產(chǎn)品類型:氣動驅(qū)動高真空擋板閥(Pneumatic Gate Valve)

核心功能:

快速隔離真空腔體(開/關時間<1秒)

適用于半導體、光伏、科研設備的超高真空(UHV)系統(tǒng)

更新時間:2025-07-09
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
瀏覽次數(shù):249
詳細介紹
品牌其他品牌應用領域化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT 54系列氣動高真空擋板閥

一、54系列產(chǎn)品定位

  • 產(chǎn)品類型:氣動驅(qū)動高真空擋板閥(Pneumatic Gate Valve)

  • 核心功能

    • 快速隔離真空腔體(開/關時間<1秒)

    • 適用于半導體、光伏、科研設備的超高真空(UHV)系統(tǒng)

  • 核心優(yōu)勢

    • 漏率低至<1×10?? mbar·L/s(金屬密封版可達10?11 mbar·L/s)

    • 零泄漏設計,兼容腐蝕性氣體(如CVD工藝中的Cl?、SF?)


二、型號命名規(guī)則(以VAT 54152-AA為例)

代碼段含義
54系列名稱(氣動擋板閥)
1閥體尺寸(1=DN40,5=DN200)
52法蘭類型(52=ISO-K,62=CF)
AA密封材質(zhì)(AA=氟橡膠,MM=金屬)

三、中國市場常用子型號對比

型號通徑法蘭類型密封材質(zhì)溫度范圍典型應用場景
VAT 54112-AADN40ISO-K氟橡膠-20~+150°C小型真空傳輸腔
VAT 54152-MMDN63ISO-K金屬密封-200~+250°C半導體刻蝕機
VAT 54562-AADN200CF氟橡膠-20~+150°C光伏鍍膜設備
VAT 54652-MMDN160ISO-K金屬密封-200~+250°C離子注入機

四、核心技術參數(shù)

  1. 真空性能

    • 漏率:氟橡膠版<1×10?? mbar·L/s,金屬密封版<1×10?11 mbar·L/s

    • 耐壓差:標準版10?? mbar至大氣壓(雙向耐壓可選)

  2. 機械特性

    • 驅(qū)動方式:雙作用氣動(需0.5~0.7MPa壓縮空氣)

    • 啟閉時間:DN63以下≤0.5秒,DN200≤1.5秒

    • 循環(huán)壽命:>500,000次(金屬密封版)

  3. 材料兼容性

    • 氟橡膠(AA):成本低,不耐等離子體

    • 金屬密封(MM):耐腐蝕、耐高溫,價格高30%~50%

    • 閥體材質(zhì):316L不銹鋼(可選電解拋光EP級)

    • 密封選項:


五、選型關鍵步驟

  1. 確定通徑:根據(jù)管道流量選擇DN40/DN63/DN160/DN200

  2. 選擇密封

    • 常規(guī)工藝:氟橡膠(AA)

    • 刻蝕/離子注入:金屬密封(MM)

  3. 匹配法蘭

    • ISO-K法蘭:大流量(如鍍膜設備)

    • CF法蘭:超高真空(如半導體腔體)

  4. 特殊需求

    • 腐蝕性氣體:選配鍍鎳閥體哈氏合金密封

    • 高溫環(huán)境:金屬密封+高溫電磁閥(如Festo MS6系列)


六、安裝與維護要點

  • 安裝規(guī)范

    • 閥體需水平或垂直安裝(避免傾斜)

    • 法蘭螺栓需按對角線順序擰緊(扭矩參考VAT手冊)

  • 維護建議

    • 每6個月檢查密封面磨損(金屬密封版可定期研磨)

    • 氟橡膠密封圈在暴露大氣后需靜置12小時再抽真空


七、典型故障處理

故障現(xiàn)象可能原因解決方案
閥門無法關閉密封面污染/氣缸壓力不足清潔密封面,檢查氣路≥0.5MPa
真空抽速慢閥板未打開調(diào)節(jié)氣缸行程或更換電磁閥
漏率超標密封圈老化/法蘭損傷更換密封件,氦質(zhì)譜檢漏

八、中國市場的替代方案

  1. 國產(chǎn)替代

    • 沈陽科儀 GDC系列擋板閥(DN40~DN250,漏率<5×10?? mbar·L/s)

  2. 日系品牌

    • SMC VZH系列(中低真空,性價比高)

  • 交貨周期

    • 標準型號:4-6周

    • 定制版本(如鍍鎳閥體):8-12周

瑞士VAT 54系列氣動高真空擋板閥

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